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退火炉电炉丝材料应该如何选择

来源:热处理 时间:2022/8/17
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退火炉电炉丝材料应该如何选择?现在随着我国工业快速的发展,我们知道航空航天领域和汽车制造业等领域对于铝型材和铝板材等行业对于工业产品需求日益增加,而且对于产品质量要求也比较高,因为铝产品对于热处理工业炉的控制精度上要求比较高。退火炉能源消耗大,材料没有选择好,会对退火炉的工作运行有一定影响,下面周工对于退火炉电炉丝材料的选择来给大家讲一下:

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退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺,其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能。热处理是针对不同的效果而设计的。可以加热晶片以激活掺杂剂,将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面,使致密沉积的薄膜,改变生长的薄膜的状态,修复注入的损伤,移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底。

退火炉可以集成到其他炉子处理步骤中,例如氧化,或者可以自己处理。退火炉是由专门为加热半导体晶片而设计的设备完成的。退火炉是节能型周期式作业炉,超节能结构,采用纤维结构,节电60%。

退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺,其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能。热处理是针对不同的效果而设计的。可以加热晶片以激活掺杂剂,将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面,使致密沉积的薄膜,改变生长的薄膜的状态,修复注入的损伤,移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底。

退火炉可以集成到其他炉子处理步骤中,例如氧化,或者可以自己处理。退火炉是由专门为加热半导体晶片而设计的设备完成的。退火炉是节能型周期式作业炉,超节能结构,采用纤维结构,节电60%。

电热合金是指利用金属的电阻特性制作发热体的电阻合金。包括Ni-Cr系和Fe-Cr-Al系两类合金。广泛用于各种工业电炉、实验室电炉和家用电器的电加热元件。

电热合金主要包括Ni-Cr系和Fe-Cr-Al系两类,适用于在~℃温度范围内工作的电加热元件。在更高温度工作的加热则采用纯金属电热材料。

1.Ni-Cr系电热合金

这类合金的高温强度高,高温冷却后无脆性,使用寿命较长,易于加工和焊接,是广泛使用的电热合金。

在Ni-Cr系中,镍与铬形成有限固溶体。当铬含量(质量分数)小于20%时,随铬含量增加电阻率提高,电阻温度系数减小;铬含量大于20%时,电阻温度系数增加,加工性能变差;而铬含量大于30%时靠近两相区,脆性增加,加工困难。因此铬含量以15%~30%为宜。加入铁使加工性能改善,但耐蚀性降低。而添加少量Si、Al、Ti、Zr或稀土元素可提高合金的工作温度和使用寿命。

Ni-Cr系电热合金的软化退火温度为~℃,快速冷却。

2.Fe-Cr-AI系电热合金

Fe-Cr-AI系电热合金的电阻率高,耐热性好和高温抗氧化性好,与Ni-Cr系合金相比具有更高的使用温度,价格也较便宜。但这类合金经高温使用时易产生脆性,而且长时间使用永久伸长率较大。

在铁中加入铬和铝都使电阻率提高,电阻温度系数降低,抗氧化性提高。添加少量Co、Ti、Zr、稀土元素等也提高合金的抗氧化性、高温强度和使用寿命。但随铬、铝含量的增加,合金的电导率增加,冲击韧性降低,加工性能变差。因此要求严格控制工艺和质量。各工艺环节,不仅要保证成分准确均匀、有害元素及杂质少,还要控制品粒细小而均匀,组织致密。

Fe-Cr-AI系电热合金的软化退火温度为~℃,快速冷却。

Fe-Cr-AI合金在焊接时晶粒易长大从而产生脆性,因此要用Fe-Cr-AI合金焊条快速焊接,最好用氩弧焊。如果焊后不立刻使用,应将焊接部位于℃左右退火,以消除焊接应力。

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