首先根据微细孔加工要求、工艺条件，选择电火花加工的工艺方法。其次是电极准备，根据所选定的工艺方法及电极缩放量，按要求设计电极图样，并制作成所需的工具电极。然后是工件准备，与冲模电火花穿孔加工类似，主要进行备料、模块机械加工及热处理等各工序。
电极的装夹与校正电极装夹与校正的目的，是把电极牢固地装在主轴的电极夹具上，并使电极轴线与主轴轴线一致，保证电极与工作台面和工件垂直；电极水平面的x轴轴线与工作台和工件的x轴轴线平行。常用的校正方法如下：
1.按电极侧面校正电极。当电极侧面面积为较大的直壁面时，可用千分表（或百分表）校正电极上下、左右（或前后）移动时的位置。
2.按电极（或固定板）的上端面作基准面校正电极的垂直度，按平直侧面校正电极的水平位置。
3.按电极端面火花放电校正。如果电极端面为平面，可用精规准使电极与模块平面进行火花放电，通过调节使四周均匀地出现放电火花，即可完成电极的校正。
4.工件的装夹与校正型腔模加工的工件装夹比较简单，在一般情况下，可将工件直接装夹在垫块或工作台上，然后通过工作台的坐标移动，使工件中心线和十字滑板移动方向一致，以便于电极和工件间的校正。最后用压板压紧。
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