备注：本栏目专门介绍年苏州举行的首届中国商业热处理大会的赞助商企业。
关于霍廷格
德国霍廷格电子有限公司成立于年，总部设于德国弗莱堡，是世界领先的等离子体电源和感应加热电源制造商，产品主要用于：半导体，显示器和太阳能领域，及光学镀膜，装饰镀膜，工业镀膜，大面积玻璃镀膜等行业的等离子体应用和覆盖传统热处理场景到外延、晶体生长等特殊场景的感应加热应用。
霍廷格致力于开发、制造用于各种沉积和干腐蚀工艺的等离子电源和助力第三代半导体市场的感应加热电源。通快霍廷格在亚洲、欧洲和美洲分别设有销售和服务子公司和分支机构。在中国设有亚太区应用中心、维修中心及匹配器生产中心。为您提供所有生产过程的优质服务。
图1.位于德国弗莱堡的霍廷格总部
图2.位于通快中国的霍廷格太仓工厂
霍廷格产品的主要应用领域
晶体外延生长（Epitaxy）
晶体外延生长是在相同或不同材料的单晶衬底上生成单晶层（例如单晶硅层）的过程。衬底位于由石墨制成的感应加热基座上。外延工艺对温度均匀性提出了非常高的要求。
通快霍廷格中频感应加热系统可靠而稳定地提供外延工艺所需的温度场。
图3.晶体外延生长
晶体生长（PVTprocess）
PVT（物理气相传输）法用于半导体工业中高纯度碳化硅晶体（SiC）的制造。首先在感应加热石墨坩埚内部产生℃以上的高温使材料处于气相状态，产生的由碳和硅组成的颗粒通过载气（如氩气）以自然传输机制传输到上方温度更低的籽晶，气体经冷凝结晶形成高纯度的单晶体。
图4.晶体生长
反应容器中精确的温度控制是该工艺的关键。通快霍廷格为PVT工艺定制全套解决方案。通过优化加热工艺，提高效率并降低成本
感应耦合等离子体（ICP工艺）
电感耦合等离子体（ICP）是微纳加工的常用工艺之一。在这个过程中气体转化为物质的第四态——等离子体。ICP工艺需要一个热源或高压点火源，产生第一批自由电荷，然后在感应电磁场中以高压加速，等离子气体发生雪崩式电离。
图5.感应耦合等离子体
新一代通快霍廷格高频感应加热电源能够以2–3MHz的频率可靠地提供高达kW的输出功率用于ICP工艺。
经典感应加热应用
图6.焊接、密封
感应加热方式特别适用于化妆品、药品和食品工业中各种内容物软管密封。对镀膜铝制成有双向阻隔作用的阻隔层使用感应加热熔化涂层实现焊接，可以瞬间达到焊接所需温度，由此实现非常短的工艺周期且不影响衬底性能以及内容物的成分和气味。
图7.锻造
感应锻造工艺热量集中，污染小，批量化生产效率高。
图8.退火
感应加热退火可以精准的控制加热深度，设备集成度高，工艺中可以与测温仪相结合，可靠且可重复地提供工艺所需功率频率。
霍廷格的主要产品：
TruHeatMF(G3)系列
TruHeatMF(G3)系列电源产品能够在最小的空间内提供最高功率和极高效率的感应加热系统。凭借着独一无二的优势，此系列产品在市场上的应用范围横跨感应加热传统应用领域如硬化、退火、焊接、熔化和锻造和第三代半导体市场如外延和晶体生长等特殊领域。
TruHeatMF//系列
TruHeatMF//是性能强劲的中频电源产品系列，此系列采用并联振荡电路技术。该类多功能电源具备10kW至40kW的功率范围和5kHz至kHz的输出频率，在传统加热应用和高科技工艺流程工艺中都有着出色表现。
TruHeatHF系列
TruHeatHF系列电源能够在高达kHz的高频下持续稳定的输出高功率。凭借着可靠的真空管技术，该系列电源适用于半导体和光伏产业中长时间不间断的工艺流程，也可同样适配商业外包淬火车间中不断变化的要求。
TruHeatHF//系列
TruHeatHF//系列囊括用于所有工业加热工艺类型的通用型电源。紧凑设计和多种可变的结构形式使其能够轻松集成至现有及全新设备中。
备注：霍廷格电子（上海）有限公司是8月17-19日即将在苏州合景万怡酒店举行的中国商业热处理大会的展台赞助商。
欲了解更多资料，请联系：霍廷格电子（上海）有限公司，
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